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常见真空泵的分类和性能指标—上海博迅医疗生物仪器股份有限公司

[导读]上海博迅医疗生物仪器股份有限公司真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理,基本上分为气体传输泵和气体捕集泵[1]。区别是对气体的处理方式不同,气体传输泵是以不停吸入和排出气体来达到抽气目的的真空泵

真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理,基本上分为气体传输泵和气体捕集泵[1]。区别是对气体的处理方式不同,气体传输泵是以不停吸入和排出气体来达到抽气目的的真空泵,而气体捕集泵则是将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上来获取真空。气体传输泵又分为容积泵和动量传输泵,气体捕集泵分为吸附泵和低温泵。
半导体设备中常见的真空泵为油封式机械泵,干式真空泵,罗茨真空泵,分子真空泵,扩散泵和冷凝泵等。
各种不同的真空泵,均有方法来检测其性能,其主要性能指标有极限压力、抽气速率和流量[1]。极限压力是指真空泵与检测容器相连后,长时间抽气后容器压力能达到的极限值,单位为Pa。在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体量称为泵的流量,单位为Pam3/s。抽气速率则是指在真空泵吸口处,单位时间内流过的气体体积,抽气速率一般与气体种类有关,泵给定的抽气速率,如无特殊说明,多指的抽空气。通过上述3个指标,可以判断真空泵的工作性能,为真空泵的检修与维护提供判断基准。

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